Disziplin im Nano-Maßstab

Selbstorganisation in Bottom-up-Prozessen

Als in den 60er Jahren die Elektronenröhren im Fernseher und im Radio durch Transistoren abgelöst wurden, übersprang die Technik glatt den Millimetermaßstab. Aus einigen Zentimeter großen Glaskolbenröhren wurden flächige Halbleiterscheiben, auf denen elektrische Leitungen, Transistoren, ja ganze Schaltungen auf die Breite eines Haares von ca. 50 Mikrometern oder den zwanzigsten Teil eines Millimeters passten. Die Mikroelektronik war erfunden. Und die weitere Marschrichtung wurde gleich mitgeliefert: 1965 formulierte Intel-Mitbegründer Gordon Moore die Prognose, dass sich die kleinste geometrische Größe von Bauelementen und Schaltungen alle 18 Monate halbieren werde! Die gewagte Spekulation erfüllte sich, wurde zur Regel, und heute nach fast 30 Jahren Gültigkeit spricht man ehrfurchtsvoll vom Moore´schen Gesetz. Gordon Moore selbst nennt es heute eine sich selbst erfüllende Prophezeiung. An dieser Erfüllung arbeitet eine ganze Branche: Vom Hersteller der Produktionsanlagen bis zum Computerbauer, und alle erhalten von dieser Prophezeiung eine einzigartig präzise Kalkulationsbasis. Ohne diese Basis stünde der Return of Investment für die Milliarden Euro schweren Investitionen in die Fabriken von höchst-integrierten Halbleiterschaltkreisen in den Sternen.

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Kontakt

Dr. Werner Prost
Prof. Dr. Franz Josef Tegude

Institut für Technologien der Informationstechnik

Halbleitertechnik/Halbleitertechnologie

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